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欧姆龙OMRON 2D CMOS激光型传感器ZS-HL系列

部件型号：ZS-HL

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产品简述

欧姆龙 ZS-HL超高性能传感器支持大范围超精确测量的核心质量

规格参数

超高性能传感器支持大范围超精确测量的核心质量

测量中心距离为20 ～ 1,500 mm的各种型号。
最大分辨率达0.25 μm。
最大响应速度达110 μs。
支持并行输出。

超稳定性

最佳尺寸/稳定性
传感器尺寸

重视性能的最佳传感器头尺寸和3点式固定构造确保出众的传感稳定性。（参见注释）

注：ZS-HLDS2T 不可用。

卓越的移动分辨率
透视分辨率提升

通过提高受光透镜的灵敏度和分辨率，使光学系统最优化，从而大幅度降低移动分辨率误差（因工件表面位置引起的误差）。

材质间误差降低
2维CMOS

CCD在受光量过多时电荷会溢出至相邻的像素。CMOS避免了这种现象，不会受不同材质或受光过多导致的光量变动影响。

降低决定测量精度的不同物体之间的差异。
因此，可以更方便地应用于检测对象物。

行业首创的1,500mm长距离检测，可以测量以往无法测量的点。

注：此功能可能在明亮环境中无效。

可稳定测量倾斜工件和移动工件。

专门为ZS-HLDS2VT开发的非球面透镜，采用的光学结构设计最适用于正反射工件。显著扩大了允许倾斜的角度，并提高了测量透明工件和正反射工件的稳定性。

在半导体晶圆片、玻璃等要求精度高的测量上具有压倒性的优势。

请点击此处，查看大图。

令人难以置信的测量精度0.25μm，同级产品的最高水平。

密封调和器的高度控制

HDD用电机旋转座的光盘播放检查

ZS-HL 特点 44 ZS-HL_Features19

ZS-HL系列传感器控制器

项目		型号	ZS-HLDC11	ZS-HLDC41
平均采样数			1/2/4/8/16/32/64/256/512/1，024/2，048、4，096
安装传感器			每只传感器控制器1个
外部接口	链接方式		串口I/O：连速器，其他：预配线(标准电缆长度:2m)
	串口I/O	USB2.0	1个端口，全速(12Mbps以下)，MINI-B
	串口I/O	RS-232C	1个端口，115,200bps以下
	输出	判断输出	3个输出：HIGH(高)/PASS(通过)/LOW(低) NPN开路集电极，DC30V,最大为50mA，残余电压：最大为1.2V	3个输出：HIGH(高)/PASS(通过)/LOW(低) PNP开路集电极，最大为50mA，残余电压：最大为1.2V
	输出	线性输出	可从2种输出，电压或电流中选择(通过底座上切换开关进行选择)。 ·电压输出：-10～10V,输出阻抗40Ω ·电流输出：4～20mA，最大负载电阻：300Ω
	输入	激光OFF，归零定时，复位	ON:短路，端电压0V或1,5V或更低 OFF:开路(漏电流：最大为0.1mA)	ON：电源电压短路或电源电压差1.5V以内 OFF:开路(漏电流：最大为0.1mA)
功能			显示：测量值、门限值、电压/电流、接收光量以及分辨率/端子块输出2 传感：模式、增益、测量对象、头安装测量点1：平均值、峰值、谷值、厚度、断差以及计算过滤：平滑、平均以及微分输出：比例(聚焦/校正)、判断(迟滞和定时器)、非测量、及组(切换和清除)* 系统保存、初始化、测量信息显示、通信设定值、键锁定、语言及数据加载任务：ZS-HLDC□1:单任务或多任务(最多4项) ZS-LDC□1：单任务
状态指示灯			HIGH(橘黄色)、PASS(绿色)、LOW(橘黄色)、LDON(绿色)、ZERO(橘黄色)、ENABLE(绿色)
分段显示		主显示	8段红色LED，6位
分段显示		副显示	8段绿色LED，6位
LCD			16位数×2行、字符颜色：绿色，每个字符分辨率：5×8像素矩阵
设定输入		设定键	方向键(上、下、左、右)、设定键、退出键、菜单键及功能键(1～4)
设定输入		切换开关	门限开关(2种状态：高/低)、模式开关(3种状态：功能、示教及运行)
电源电压			DC21.6V～26.4V(包括纹波)
电流消耗			最大为0.5A(连接传感器头时)
环境温度			运行：0～50°C，储存：-15～+60°C(无结冰、无结露)
环境湿度			运行和储存时：35%～85%(无结露)
防护等级			IP20 (IEC60529)
材质			外壳：聚碳酸酯(PC)
电缆长度			2m
质量			约280g(不含包装材质和附件)
附件			铁氧体磁芯(1)，说明书

*1.当选择多任务模式时可用于ZS-HLDC□1。
*2.端子块输出是ZS-HLDC□1的一种可能。

ZS-HL系列传感器头

型号		ZS-HLDS2T		ZS-HLDS2VT	ZS-HLDS5T
可应用控制器		ZS-HLDC系列
光学系统		正反射	漫反射	正反射	漫反射	正反射
测量中心距离		20 mm	5.2 mm	25 mm	50 mm	44 mm
测量范围		±1 mm	±1 mm	±2 mm	±5 mm	±4 mm
光源		可视半导体激光(波长:650nm,最高1mW,JIS Class 2)
光束形状		线光束
*光束直径 1**		1.0 mm × 20 μm		2.2 mm × 45 μm	1.0 mm × 30 μm	3.5 mm × 60 μm
*直线性 2**		±0.05%F.S.		±0.2%F.S.	±0.1%F.S.
*分辨率 3**		0.25 μm (平均采样数: 256)		0.6 μm (平均采样数: 128)	0.25 μm (平均采样数: 512)	1 μm (平均采样数: 64)
*温度特性 4**		0.01%F.S./°C		0.1%F.S./°C	0.01%F.S./°C
采样周期		110 μs (高速模式), 500 μs (标准模式), 2.2 μs (高精度模式), 4.4 μs (高灵敏度模式)
LED 指示灯	NEAR 指示器	接近测量中心距离以及测量范围内小于测量中心距离时点亮。当测量目标超出测量范围或接收光量不足时闪烁。
LED 指示灯	FAR 指示器	接近测量中心距离以及测量范围内大于测量中心距离时点亮。当测量目标超出测量范围或接收光量不足时闪烁。
运行环境照明		在接收光表面照明： 3000 lx 以下 (白炽灯)
环境温度		运行: 0 ～ 50°C, 储存: -15 ～ 60°C (无结冰，无结露)
环境湿度		运行和储存: 35% ～ 85% (无结露)
*防护等级5**		IP64		IP67	电缆长度 0.5 m: IP66, 电缆长度 2 m: IP67
材料		外壳：铝印模压铸，前盖：玻璃
电缆长度		0.5 m, 2 m		2 m	0.5 m, 2 m
质量		约350 g			约600 g
附件		激光关联标签（JIS・EN 各1枚、FDA 3枚），铁氧体磁芯（4），保险锁（2），说明书		激光关联标签（JIS・EN 各1枚），铁氧体磁芯（2），保险锁（2），说明书	激光关联标签（JIS・EN 各1枚、FDA 3枚），铁氧体磁芯（4），保险锁（2），说明书

型号		ZS-HLDS10		ZS-HLDS60	ZS-HLDS150
可应用控制器		ZS-HLDC 系列
光学系统		漫反射	正反射	漫反射	漫反射
测量中心距离		100 mm	94 mm	600 mm	1500 mm
测量范围		±20 mm	±16 mm	±350 mm	±500 mm
光源		可视半导体激光(波长:650nm,最高1mW,JIS Class 2)		可视半导体激光(波长:658nm,最高1mW,JIS Class 2)
光束形状		线光束
*光束直径 1**		3.5 mm × 60 μm		16 × 0.3 mm ( 500 mm)	40 × 1.5 mm ( 1,500 mm)
*直线性 2**		±0.1%F.S.		±0.07%F.S. (250 ～ 750 mm), ±0.1%F.S. (750 ～ 950 mm)	±0.2%F.S.
*分辨率 3**		1 μm (平均采样数: 64)		8 μm (平均采样数: 250 mm时64), 40 μm (平均采样数: 600 mm时64)	500 μm(平均采样数: 64)
*温度特性 4**		0.01%F.S./°C
采样周期		110 μs (高速模式), 500 μs (标准模式), 2.2 μs (高精度模式), 4.4 μs (高灵敏度模式)
LED 指示灯	NEAR 指示器	接近测量中心距离以及测量范围内小于测量中心距离时点亮。当测量目标超出测量范围或接收光量不足时闪烁。
LED 指示灯	FAR 指示器	接近测量中心距离以及测量范围内大于测量中心距离时点亮。当测量目标超出测量范围或接收光量不足时闪烁。
运行环境照明		在接收光表面照明： 3000 lx 以下 (白炽灯)		在接收光表面照明： 1000 lx 以下 (白炽灯)	在接收光表面照明： 500 lx 以下 (白炽灯)
环境温度		运行: 0 ～ 50°C, 储存: -15 ～ 60°C (无结冰，无结露)
环境湿度		运行和储存: 35% ～ 85% (无结露)
*防护等级5**		电缆长度 0.5 m: IP66, 电缆长度 2 m: IP67		IP66 *6
材料		外壳：铝印模压铸，前盖：玻璃
电缆长度		0.5 m, 2 m
质量		约600 g		约800 g
附件		激光标签( JIS/EN每件1个), 铁氧体磁芯 (2), 保险锁 (2), 说明书

*1将实际测量中心距离（有效值）定义为中心光学密度的1/e2(13.5%)。光束直径有时受工作状况的影响，如主光束泄漏的光。

*2.相对于理想直线的测量值误差。根据工件情况，直线性可能变化。可选以下选项。

*3当平均采样数设定在图表范围内时，在高精度模式下测量中心距离处位移输出的峰-峰位移转换值。
ZS-HLDS60同时显示250mm时的最大分辨率。可选以下选项。

型号	漫反射型	镜面反射型
ZS-HLDS2T	SUS块	玻璃
ZS-HLDS2VT	—	玻璃
ZS-HLDS5T	白色铝瓷	玻璃
ZS-HLDS10	白色铝瓷
ZS-HLDS60/HLDS150	白色铝瓷	—

型号	漫反射型	镜面反射型
ZS-HLDS2T	SUS块	玻璃
ZS-HLDS2VT	—	玻璃
ZS-HLDS5T	白色铝瓷	玻璃
ZS-HLDS10	白色铝瓷
ZS-HLDS60/HLDS150	白色铝瓷	—

*4.当传感器和工件通过铝夹固定时在测量中心距离处得到的值。（典型示例）
*5.连接器部分的IP等级是IP40。
*6.有关IP67防护等级传感器头的信息请咨询欧姆龙代表处。

ZS-HL系列传感头

型号		ZS-LD10GT	ZS-LD15GT
可应用控制器		ZS-HLDC/LDC 系统
光学系统		正反射
测量中心距离		10 mm	15 mm
测量范围		±0.5 mm	±0.75 mm
光源		可视半导体激光(波长:650nm,最高1mW,JIS Class 2)
光束形状		线光束
*光束直径 1**		约25 x 900 μm
*直线性 2**		±0.1%FS
*分辨率 3**		0.25 μm	0.25 μm
*温度特性 4**		0.04%FS/°C
采样周期		110 μs (高速模式), 500 μs (标准模式), 2.2 μs (高精度模式), 4.4 μs (高灵敏度模式)
LED 指示灯	NEAR 指示器	接近测量中心距离及测量范围内小于测量中心距离时点亮。当测量目标超出测量范围或接收光量不足时闪烁。
LED 指示灯	FAR 指示器	接近测量中心距离及测量范围内大于测量中心距离时点亮。当测量目标超出测量范围或接收光量不足时闪烁。
运行环境照明		在接收光表面照明： 3000 lx 以下 (白炽灯)
环境温度		运行: 0 ～ 50°C, 储存: -15 ～ 60°C (无结冰，无结露)
环境湿度		运行和储存: 35% ～ 85% (无结露)
*防护等级5**		IP40
材料		外壳：铝印模压铸，前盖：玻璃
电缆长度		0.5 m, 2 m
质量		约400g
附件		激光标签( JIS/EN每件1个)，铁氧体磁芯 (2), 保险锁 (2)

*1.将实际测量中心距离（有效值）定义为中心光学密度的1/e²(13.5%)。光束直径有时受工作状况的影响，如主光束泄漏的光。
*2.相对于理想直线的测量值误差。标准工件在正反射模式下为白色铝瓷和玻璃。根据工件情况，直线性可能变化。
*3.当平均采样数设定为128且测量模式设定为高分辨率模式时，在高精度模式下测量中心距离处位移输出的峰-峰位移转换值。标准工作在正反射模式下为白色铝瓷和玻璃。
*4.当传感器和工件通过铝夹固定时在测量中心距离处得到的值。（典型示例）
*5. 连接器部分的IP等级是IP40。

ZS-MDC□1 多通道控制器

基本规格与 ZS-LDC□1 传感器控制器的规格相同。然而以下几点不同：
1.不能连接传感器头
2.最多连接9个控制器时需要使用控制器链接单元。连接控制器时需要使用控制器链接单元
3.控制器之间的处理功能：数学功能

控制器链接单元

使用 ZS-XCN进行连接

ZS-DSU□1数据存储单元

项目		型号	ZS-DSU11	ZS-DSU41
安装传感器头数			不能连接
可连接控制器数			最多为10个控制器(ZS-MDC：1个控制器，ZS-HLDC/LDC：最多为9个控制器)*1
可连接的控制器			ZS-HLDC□□，ZS-LDC□□，ZS-MDC□□
外部接口	链接方式		串口I/O：连速器，其他：预配线(标准电缆长度:2m)
	串口I/O	USB2.0	1个端口，全速(最大12Mbps)，MINI-B
	串口I/O	RS-232C	1个端口，115,200bps以下
	输出		3个输出：HIGH、PASS和LOW； NPN开路集电极，DC30V，最大50mA，残余电压：最大为1.2V	3个输出：HIGH、PASS和LOW； NPN开路集电极，最大50mA，残余电压：最大为1.2V
	输入		ON:短路，端电压0V或1,5V或更低 OFF:开路(漏电流：最大为0.1mA)	ON：电源电压短路或电源电压差1.5V以内 OFF:开路(漏电流：最大为0.1mA)
数据分辨率			32bit
功能	记录触发功能		可分别设定开始和停止触发：外部触发、数据触发(自触发)以及时间触发
功能	其他功能		外部组、报警输出、保存数据格式定制及时钟
状态指示灯			OUT(输出，橘黄色)，PWR(绿色)、ACCESS(达到，橘黄色)，ERR(红色)
分段显示			8段绿色LED，6位
LCD			16位数×2行，字符颜色：绿色，每个字符分辨率：5×8像素矩阵
设定输入	设定键		方向键(上、下、左、右)、设定键、退出键、菜单键及功能键(1～4)
设定输入	切换开关		门限开关(2种状态：高/低)、模式开关(3种状态：功能、示教及运行)
电源电压			DC21.6V～26.4V(包括波动)
电流消耗			最大为0.5A
环境温度			运行：0～50°C，存储：0～60°C（无结冰，无结露）
环境湿度			运行和存储时：35%～85%（无结露）
IP等级			IP20（IEC60529）
材料			外壳：聚碳酸酯(PC)
质量			约280g(不含包装材质和附件)
附件			铁氧体磁芯(1)，数据储存单元说明书：数据储存单元CSV文件转换/Smart Analyzer宏版本